独自技術開発、オーダーメイド製作、多様な背景からの開発協力、堅牢性が特徴です。
・食品工場～宇宙産業で利用されるポンプで多くの実績があります。
・装置技術としては、半導体電子部品用絶縁膜、フィルム用配線/絶縁膜、自動車用固体潤滑膜、電気自動車用パワーデバイス接合技術、ビームライン/光学素子用微細加工技術、ディスプレイ用防汚＆光学膜、コンタクト用保護膜など大量生産対応の実績があります。
取引先から評価されている点
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神港精機は最大手の大企業とは違い、人員や設備も限られていますが、お客様の要望に対して柔軟に対応できる点を強みとしており、またオリジナル技術をソフトウェア込みで開発しているため、お客様としてもソフト、ハード両方でオリジナリティやノウハウ保護にメリットがあり、また開発期間の短縮にもつながるため採用頂けたと考えます。
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新しい成膜方式により世の中にない酸化物蒸着を実現し、半導体用途で必須の耐プラズマコーティングにおいて最良の成膜装置を作り上げた事をご評価頂けたと考えます。
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ビームライン用の光学素子を製作できる技術は世の中に少なく選択肢がなかったところに対し、当社ではこれまで光学素子などの実績があったわけではありませんが、培ってきたプラズマ技術の微細加工実績の提案がマッチしたものと考えます。
過去実績
自動車/金型/工具業界向けに対し、新しいスパッタ技術で膜質を改善しました。
ADMS（アーク放電式マグネトロンスパッタ）というスパッタリングの改善技術となります。通常より低い圧力でスパッタを行い、スパッタ粒子をイオン化する事で密着力/緻密性/反応性を改善します。写真はTiN成膜の比較ですが膜質が大きく変わっています。導電性を示すCNx膜なども対応可能な膜種となっており、他の用途に使える可能性のある各種窒化膜に対応します。
真空装置内部で利用される耐プラズマコーティングに対し、新しい蒸着技術で膜質を改善しました。
AFIP（アークフィラメント式イオンプレーティング）という蒸着の改善技術となります。蒸着中に粒子をイオン化する事で密着力/緻密性/反応性を改善します。写真は耐プラズマ性で知られるY2O3膜を10μm成膜したものですが、通常蒸着でここまで厚膜で成膜は出来ません。もともと密着に優れた蒸着を厚膜で成膜出来るようになり、耐プラズマ性のコーティングとしは非常に優れたものとなりました。反応性が良く、SiCなどにも対応しており、炭化/酸化/窒化膜の成膜が可能です。
ビームライン実験で利用される光学素子に対し、独自プラズマ技術で微細加工を実現しました。
Spring-8で利用される実験用光学素子の製作で実績があります。当社ではプラズマエッチングにより各種材料をエッチングする技術を開発保有しており、この案件では社内でコーティングを施したTa膜に対し、ICPプラズマによるエッチングを行い、螺旋形状の光学パターンを作製しました。他に100nm未満のドット、ピラー、ホールなどでの実績も各種ございます。
実績のある業界
- 食料品製造業
- 繊維工業
- 化学工業
- 電子部品・デバイス・電子回路製造業
事業内容
弊社は真空ポンプと真空装置のメーカーです。真空ポンプは食品や化学関係、工場プラントや宇宙産業等で幅広く利用され、多くの実績があります。 真空装置技術としては、携帯やパソコンに内蔵されている半導体や電子部品に必要な絶縁用の膜を成膜する装置、薄いフィルムに対して金属を成膜する装置、電気自動車に搭載されるパワーデバイスと呼ばれる電気の制御や供給を行う半導体のはんだ付け接合を真空中で行う装置などを製造しており、小ロット生産用のバッチ式装置から大量生産用のインライン装置まで幅広い対応実績があります。
企業基本情報
【問い合わせ窓口情報】
| 住所 |
6500038
神戸市中央区西町35番地 三井神戸ビル4F |
| 従業員数 |
100-500名 |
【その他企業情報】
※掲載する情報は掲載時点のものです
生産
キャパシティ |
兵庫県神戸市、滋賀県守山市に工場あり |
海外への
納品対応可能エリア |
法令の範囲内で海外諸国への供給にも対応します。 |
| 保有する機械・設備 |
旋盤、フライス盤、マシニングセンタ、中くり盤、ボール盤、研削盤、プレス、切断機、マルチスパッタリング装置デモ機、DLC薄膜形成装置デモ機 |
| 保有資格する資格・認証・表彰 |
ISO9001、ISO14001、旭日単光章（弊社社長受賞） |
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